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當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從 電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性團；之后這些活性團與分子或原子、活性團與活性團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。(在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。) 然后部分有機廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污薩體分解為無毒無害無味氣體。采用高能C波段光峽裂污薩體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。
O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細菌，將有毒有害物質破壞且改變成為低分子無害物質。在C波段激光刺激催化劑涂層產生活性，強化催化氧化作用。在分解過程中產生高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離熏即活性熏因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有超強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有超強的清除效果。O3也為強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，透徹達到脫臭及殺滅菌的目的。
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